an elevating device for panel the vacuum chamber

摘要

본 발명은 진공상태에서의 작업을 위해 진공을 유지하면서 다수의 패널이 적층토록 되는 진공챔버에 복수의 피드드로우유니트를 밀봉결합한 후 상기 피드드로우유니트는 구동수단에 연결되어 동시에 승하강토록 설치되어 구동수단에 전원의 공급시 피드드로우유니트에 구비되면서 자기장의 상호 동작에 의해 구동되는 지지바가 패널을 승하강하도록 설치되는 진공상태의 패널 이송장치에 관한 것이다.