| 发明名称 | 一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板 | ||
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种氧化物薄膜晶体管阵列基板及制作方法、显示面板，能够减少Oxide TFT的构图工艺次数，简化生产工艺，降低制作成本。该方法包括：通过一次构图工艺，在形成有栅线和栅极图形的基板上，形成包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形。本发明实施例适用于显示技术领域。 | ||
| 申请公布号 | CN103178021A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201310063256.2 | 申请日期 | 2013.02.28 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 孙双 |
| 分类号 | H01L21/84(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/84(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种氧化物薄膜晶体管阵列基板的制作方法，其特征在于，该方法包括：通过一次构图工艺，在形成有栅线和栅极图形的基板上，形成包括栅绝缘层、氧化物有源层和刻蚀阻挡层的图形。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||