发明名称 |
薄膜电晶体型基板、薄膜电晶体型液晶显示装置及薄膜电晶体型基板之制造方法 |
摘要 |
本发明系提供一种几乎无因蚀刻所产生之残渣等且具备非晶质之透明导电膜的薄膜电晶体型基板、利用该薄膜电晶体型基板之液晶显示装置、及可有效率地得到前述该薄膜电晶体型基板之薄膜电晶体型基板之制造方法。;本发明之薄膜电晶体型基板,其系由透明基板、与于该透明基板上之闸极电极、半导体层、源极电极及汲极电极、透明像素电极及透明电极所形成,前述透明像素电极系由透明导电膜所构成并与前述源极电极或前述汲极电极电性连接,其中,该薄膜电晶体型基板之特征在于:构成前述透明像素电极之透明导电膜系由含有镓之铟氧化物所构成。 |
申请公布号 |
TWI401771 |
申请公布日期 |
2013.07.11 |
申请号 |
TW098112600 |
申请日期 |
2009.04.16 |
申请人 |
住友金属鑛山股份有限公司 日本 |
发明人 |
中山德行;阿部能之 |
分类号 |
H01L21/786;G02F1/1362 |
主分类号 |
H01L21/786 |
代理机构 |
|
代理人 |
洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼 |
主权项 |
|
地址 |
日本 |