由气体混合物形成之气体团簇离子束的控制方法与装置

摘要

本发明提供用以控制从气体混合物中复数之处理气体形成之气体团簇离子束的方法及装置。该等方法及装置系有关对关于气体混合物组成之气体分析资料进行测量，以及回应所侦测参数而修正对工作件的照射。该气体分析资料能从自气体源到气体团簇离子束装置流动之气体混合物组成的样本推导得到，或从气体团簇离子束装置之真空容器内之残留气体的样本推导得到。