用于离子植入系统之使用改变角度槽阵列之离子束角度测量系统及方法

摘要

一种用以在离子植入期间测量离子束之入射角度的角度测量系统包含一改变角度槽阵列以及一位于该改变角度槽阵列下游处的电荷测量装置阵列。该改变角度槽阵列包含形成于从一入口表面至一出口表面的一结构内的槽。每一个该等槽均具有一改变的接受角度范围。该电荷测量装置阵列则各自和该等槽相关联，并且能够测量通过该等槽的子射束的电荷或射束电流。接着，便可运用该等测量值以及该等改变或不同的接受角度范围来决定一离子束的经测得入射角度及/或角度内容。