导电性耐电浆构件

摘要

〔解决手段〕一种导电性耐电浆构件，系曝露于卤素系气体电浆氛围的耐电浆构件，其特征为：于基材之曝露于电浆的部分中之至少一部分，形成钇金属的热喷涂膜、或钇金属与氧化钇及/或氟化钇的混合热喷涂膜，施加导电性。;〔效果〕本发明的耐蚀性的导电性耐电浆构件，系有导电性，使对于卤素系腐蚀性气体、或是该电浆之耐蚀性提高，可抑制在使用半导体制造装置或平面显示器制造装置时之因电浆蚀刻的粒子污染。