发光二极体元件的制造方法

摘要

本发明系提供一种发光二极体元件的制造方法以及将发光二极体元件从生长基底分离，该发光二极体元件系经由在生长基底之上形成发光二极体结构而形成，该方法包括形成并图案化遮罩层于生长基底上，形成第一接触层于图案化遮罩层之上，使得第一接触层与图案化遮罩层之间具有空气架桥，第一接触层可以是发光二极体结构的接触层，于发光二极体结构形成之后，沿着空气架桥将生长基底与发光二极体结构分离。