掩模组件间接对位的方法

摘要

本发明公开了一种掩模组件间接对位的方法，包括以下步骤：将掩模框架放置在对位基台上，使掩模框架与对位销钉对齐；将对位辅助板放置在掩模框架上且使其与对位基台相对固定，并使对位辅助板的对位孔与掩模框架对位孔对应；通过CCD捕捉对位辅助板及掩模框架上对位孔的位置图像，并测量它们相应的两个对位孔的位置偏差L；调整对位销钉的位置以微调掩模框架的位置使得L≤15μm；取下对位辅助板，将掩模板放置在掩模框架上且使其固定在对位基台上；以及通过CCD捕捉掩模板对位孔与相应的掩模框架对位孔的位置图像，检测前者是否被后者的边缘遮挡，若被遮挡则重复以上步骤直至掩模板对位孔完全为通孔。

主权项

一种用于掩模组件间接对位的方法，包括以下步骤：S1、将掩模框架水平放置在对位基台上，使掩模框架与对位基台上的对位销钉对齐；S2、将对位辅助板水平放置在掩模框架上且与对位基台相对固定，并使对位辅助板的对位孔A1与掩模框架上相应的对位孔B对应；S3、通过CCD自上而下捕捉对位辅助板和掩模框架上对位孔的位置图像，并测量对位孔A1与对位孔B的相对位置偏差L；S4、若L>15μm，则调整对位销钉的位置以微调掩模框架的位置直至L≤15μm，若L≤15μm则直接进行后续步骤； S5、将对位辅助板从对位基台上取下，并将掩模板水平放置在掩模框架上且固定在对位基台上；以及S6、通过CCD自上而下捕捉掩模板的对位孔A与相应的掩模框架对位孔B的位置图像，检测对位孔A是否被对位孔B的边缘遮挡，若被遮挡则重复步骤S2～S6直至对位孔A完全为通孔，其中，掩模板的对位孔A的直径小于掩模框架的对位孔B的直径，且对位辅助板的对位孔A与掩模框架的对位孔B的直径相同。