电晶体及其制造方法

摘要

本发明提供一种电晶体，其包括：第一导电类型之基板，第二导电类型之汲极区和源极区，闸极，闸极氧化层，第一导电类型之调节植入区，及平面接面。在基板中配置汲极区和源极区；在源极区和汲极区之间的基板上配置闸极，且闸极与基板系被闸极氧化层分隔；在闸极氧化层下与基板中配置调节植入区；调节植入区具有比第一掺杂浓度高之第二掺杂浓度；调节植入区和汲极区系以预定形状形成具有指向汲极区的平面接面的表面曲率，进而释放平面接面之一所在位置的电场强度。