控制闸极轮廓之进阶制程控制方法与系统

摘要

一种进阶制程控制方法，用以制造一半导体元件，以改善其效能。此方法可包含提供一基材；进行复数个制程，以于前述基材上形成一闸极堆，其中前述闸极堆包括一闸极层；在前述制程之至少一者后，测量前述闸极层之一晶粒尺寸测量值；判断前述晶粒尺寸测量值是否在一目标范围内；以及倘若前述晶粒尺寸测量值不在上述目标范围内，修改前述制程之至少一者的一制程参数。