微机电式感测器-麦克风及其制造方法

摘要

一种微机电系统构造－麦克风接合在积体电路组件之表面上，此组件中包含至少一积体电路，其适合用来准备一种由微机电系统构造－麦克风所发出的电信号且进行处理。整个组件可简易地制成且具有紧密之省空间的构造。此制程可以较简易且可靠的方式来进行。