基板处理装置以及于此装置中转移基板的方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其包括多个处理室、一缓冲单元以及一转移构件。此转移构件转移基板于处理室与缓冲单元之间，且收集了过程中同时完成于至少两处理室中经处理的基板，以同时转移经处理之基板至缓冲单元。因此，此转移构件转移基板的次数减少，以使得基板处理装置可减少处理时间与提高生产力。