用于监视与控制光阻分散系统之倒吸量的设备及方法

摘要

监视一分配喷嘴中半导体处理流体介面的位置的设备包括：一延伸光源，其用以提供沿着一光学路径行进的光束。光束的特征在于以对准一分配方向之第一方向测量的路径宽度。此设备还包括：一光学侦测器，其耦接光学路径且用来侦测至少部分光束；以及一分配喷嘴，其沿着光学路径设在延伸光源与光学侦测器之间的一地点。此设备更包括：一喷嘴定位构件，其耦接分配喷嘴且以第一方向转移分配喷嘴。