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发明名称 A CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND A GAS SUPPLY UNIT THEREOF
摘要
申请公布号 KR101297344(B1) 申请公布日期 2013.08.16
申请号 KR20100036571 申请日期 2010.04.20
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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