在积体电路制程中检测缺陷特性的方法

摘要

本发明揭露一种在积体电路制程中检测缺陷特性的方法，方法包含：获得一待测样本的带电粒子显微镜影像，其中待测样本包含一参考图案与一测试图案；测量参考图案与测试图案的灰阶；从参考图案的测量灰阶分布图计算出一标准偏差；以及根据该些测量灰阶与标准偏差判断测试图案的缺陷特性