静电式晶圆座的阶段解锁

摘要

一种静电式晶圆座的阶段解锁方法与装置。在阶段解锁方法中的任一阶段，气体由被推开晶圆与静电式晶圆座之间的开口逸出。于任一阶段，减少静电式晶圆座电压使低于一临界电压，其为使静电式晶圆座固定晶圆所需的最小电压，使得晶圆被气体推开，藉此可增加气体的排出速率。经由控制静电式晶圆座电压的减少量或降低电压的持续期间，可使被推开晶圆的受损程度达到最小。