静电夹头

摘要

本发明提供一种可以短时间去除残留电荷，不会损伤吸附面之陶瓷，可长时间稳定地去除残留电荷的静电夹头。该静电夹头系以具有吸附用电极之板状体之主表面为吸附面之静电夹头，其中板状体系主表面侧(介电体层)由藉照射波长450nm以上之可见光而降低体积固有电阻的陶瓷构成。由于藉照射光能量低之可见光降低体积固有电阻，所以即使反覆或长时间照射使用，也不会产生伴随陶瓷变色之损伤或体积固有电阻升高之变质。