真空室及真空处理装置

摘要

[课题]提供有可以确保作为采用分割构造、乃至于真空容器的强度之真空室以及具备该真空室之真空处理装置。;[解决手段]为真空室之搬送室20，系具备有：形成长方形之主框体201、接合于该主框体201的长边之相对向的侧部之一对补强框体202a，202b、自由装卸地接合于主框体201的上面之顶板203、以及未图示之搬送机构；主框体201与补强框体202，系成为一体后形成搬送基板S之搬送空间。