摘要 |
In wenigstens einer Ausführungsform wird ein Infrarot-(IR)-Sensor bereitgestellt, der eine Thermosäule umfasst. Die Thermosäule umfasst ein Substrat und einen Absorber. Der Absorber ist oberhalb des Substrats angeordnet, und zwischen dem Absorber und dem Substrat ist ein Spalt gebildet. Der Absorber empfängt IR von einer Szene und erzeugt einen elektrischen Ausgang, der eine Temperatur der Szene anzeigt. Der Absorber ist in der Weise aus einer Übergitter-Quantentopf-Struktur gebildet, dass der Absorber thermisch von dem Substrat isoliert ist. In einer weiteren Ausführungsform wird ein Verfahren zum Bilden eines Infrarot-(IR)-Detektors bereitgestellt. Das Verfahren umfasst, ein Substrat zu bilden und einen Absorber mit einer Vielzahl von abwechselnden ersten und zweiten Schichten mit einer Übergitter-Quantentopf-Struktur zu bilden. Weiterhin umfasst das Verfahren, den Absorber in der Weise über dem Substrat anzuordnen, dass ein Spalt gebildet wird, um zu bewirken, dass der Absorber über dem Substrat aufgehängt ist.
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