雷文生（Ｌｅｖｅｎｓｏｎ）型光罩之制造方法

摘要

本发明的图案形成方法系包含有：具第1最小尺寸(Dmin1)的第1图案部(10a)、与具第2最小尺寸(Dmin2)的第2图案部(10b)之图案形成方法，包括有：使用雷文生型光罩施行曝光的第1曝光步骤、与使用半色调型光罩施行曝光的第2曝光步骤。当第2最小尺寸(Dmin2)达第1最小尺寸(Dmin1)的1.3倍以上时，便以第2曝光步骤的曝光量成为第1曝光步骤之曝光量以下的方式实施。