发明名称 面粗糙度检查装置
摘要 本发明系提供一种面粗糙度检查装置,即使作为检查对象之物体表面为弯曲的面,该面粗糙度检查装置亦可确实进行检查者。又,本发明系有关于一种面粗糙度检查装置,包含有:摄像单元,系具有直线感应器,且朝与前述直线感应器之延伸方向正交之方向扫描作为检查对象之物体表面,并可由前述直线感应器输出每一像素之灰阶信号者;及处理单元,系处理前述摄像单元中由前述直线感应器输出之灰阶信号者,又,前述处理单元包括:像素灰阶值取得机构,系可根据前述直线感应器之灰阶信号,取得像素灰阶值者;及灰阶状态生成机构,系可根据前述作为检查对象之物体表面所取得之全部像素灰阶值,产生显示前述物体表面之扫描方向之灰阶状态的灰阶状态资讯者。
申请公布号 TWI408333 申请公布日期 2013.09.11
申请号 TW095145400 申请日期 2006.12.06
申请人 芝浦机械电子装置股份有限公司 日本 发明人 林义典;森秀树
分类号 G01B11/30;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 日本