摘要 |
本发明系提供一种真空装置等不会因油膏(grease)或灰尘(dust)等产生污染问题的搬运装置,并且提供一种装置之设置面积小,且能利用既存技术轻易的进行耐腐蚀处理的搬运装置。本发明的搬运装置1,系具有:支承并搬送搬运物20的搬运部21、将来自装置本体部2的动力传达到搬运部21,使该搬运部21朝向水平面方向移动的连杆(link)16、配设在装置本体部2与搬运部21之间,用来引导搬运部21之移动方向的引导机构30。引导机构30,系具有已轴支连结的第1及第2引导臂31、32,该引导机构30之一端部侧的第1引导臂31是安装在装置本体部2,并且一端部侧的第2引导臂32是安装在搬运部21。第1及第2引导臂31、32,系构成分别于铅直面方向旋转。 |