摘要 |
〔课諟〕提供:感放射线性树脂组合物,其系所得树脂膜之耐热形状保持性优良,形成图案化树脂膜时之熔流时之温度区间宽,且亦可良好地使用作为抗蚀材者;积层体,其包含:基板与由积层于其该上之上述感放射线性树脂组合物所构成之树脂膜;及该积层体之制造方法。;〔解决手段〕感放射线性树脂组合物包含:于主链具有环状构造之环状烯烃系聚合物100重量部,感放射线性化合物1~100重量部及具有被嵌段之异氰酸酯基之嵌段型聚异氰酸酯化合物5~80重量部;积层体,其包含:基板,及由积层其上之申请专利范围1至3项之任何1项所述的感放射线性树脂组合物所构成之树脂膜;积层体之制造方法具有:使用上述感放射线性树脂组合物将树脂膜形成于基板上之步骤。 |