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发明名称
检查装置
摘要
本发明之课题在于对探针单元(11)确实对准液晶面板(3)的位置。;本发明之解决手段系供检查检查对象板,而藉摄影机摄影前述检查对象板表面的对准记号而整合该对准记号与基准记号进行前述检查对象板之位置对准之检查装置。具备藉前述摄影机摄影之印字状态不同的复数检查对象板之对准记号作为基准记号予以记忆之记忆手段,及由记忆于前述记忆手段之复数基准记号中选择出近似于藉前述摄影机摄影的前述检查对象板的对准记号之基准记号而整合该基准记号与前述检查对象板之对准记号进行位置对准控制之控制部。
申请公布号
TWI408388
申请公布日期
2013.09.11
申请号
TW098121402
申请日期
2009.06.25
申请人
日本麦克隆尼股份有限公司 日本
发明人
佐藤和男;松野友和;东保宏宣
分类号
G01R31/28;G01R1/06
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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