判定在制程腔室中处理的基材之虚拟测量轮廓的方法、用以产生制程腔室之虚拟测量轮廓的系统、及用以产生由基材温度判定之虚拟测量轮廓的方法

摘要

本发明提供用来判定在一制程腔室内加热的基材之径向差异测量轮廓的方法及系统。也提供用来判定一制程腔室内之一旋转基材的角度或方位角差异测量轮廓的方法及系统。运用该径向及方位角差异测量轮廓来调整参考测量轮廓，以提供该制程腔室的虚拟测量。运用该虚拟测量来控制该制程腔室的效能。