具有耐闸极短路之鳍式电晶体之元件及其制造方法

摘要

本发明揭示方法、系统及装置，其包含一种包含以下动作之方法：在一基板(102、210)中蚀刻一列间渠沟(144、220)；用一介电材料(150、222)大致或完全地填充该列间渠沟(144、220)：及至少部分地藉由在该基板(102、210)中蚀刻一闸极渠沟(164、238)来形成一鳍(190、258)及一绝缘突出部(168、242)。在某些实施例中，该绝缘突出部(168、242)包含该列间渠沟(144、220)中之该介电材料(150、222)之至少某些介电材料。