| 发明名称 |
陶瓷桨 |
| 摘要 |
本发明提供一种用于制造半导体晶圆之桨。该桨可为由诸如碳化矽之陶瓷制成的悬臂桨，且可与诸如光电晶圆之圆形或方形晶圆一起使用。该桨展现极佳偏斜及强度特征。 |
| 申请公布号 |
TWI408772 |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
| 申请号 |
TW098105542 |
申请日期 |
2009.02.20 |
| 申请人 |
圣高拜陶器塑胶公司 美国 |
发明人 |
凯普菲 史考特Ａ;肯尼 麦可Ｐ;卓依 凯伦Ａ;张鹏 |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/30;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
