外观检查装置

摘要

本发明之外观检查装置中，载置台系用以保持基板，并让基板加以摇动者，又，光源系用以照亮基板表面者，而摄影装置系用以对该基板进行摄影，生成影像资料并将之输出至控制装置，且该摄影装置配置于靠近检查者其目视位置处，再者，控制装置系将摄影装置所输出的影像资料记忆于内部的记忆部中。