| 摘要 |
<p>Eine Ionenstrahl-Einrichtung enthält: eine Ionenquelle, welche ausgelegt ist, einen Ionenstrahl zu emittieren; eine Kondensorlinse-Elektrode, welche ausgelegt ist, den Ionenstrahl zu komprimieren; eine Kondensorlinse-Leistungsquelle, welche ausgelegt ist, eine Spannung an die Kondensorlinse-Elektrode anzulegen; einen Speicherabschnitt, welcher ausgelegt ist, einen ersten Spannungswert, einen zweiten Spannungswert, einen dritten Spannungswert und einen vierten Spannungswert zu speichern; und einen Steuerabschnitt, welcher ausgelegt ist, den dritten Spannungswert vom Speicherabschnitt zu erlangen und den erlangten dritten Spannungswert bei der Kondensorlinse-Leistungsquelle einzustellen, wenn ein Beobachtungs-Modus auf einen Weitbereich-Beobachtungs-Modus umgeschaltet wird, und den vierten Spannungswert vom Speicherabschnitt zu erlangen und den erlangten vierten Spannungswert bei der Kondensorlinse-Leistungsquelle einzustellen, wenn ein Verarbeitungs-Modus auf den Weitbereich-Beobachtungs-Modus umgeschaltet wird.</p> |
