发明名称 Mobiles Lecksuchegerät
摘要 Mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen, mit einem tragbaren Gehäuse (10), einem an dem Gehäuse (10) vorgesehenen Anschlusselement (22) zum Anschluss an eine zu untersuchende Vakuumeinrichtung, einer im Gehäuse (10) angeordneten mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbundenen Pumpeinrichtung (12, 14), einer mit der Pumpeinrichtung (12, 14) verbundenen Detektionseinrichtung (30) zur Detektion von aus der Vakuumeinrichtung abgepumptem Medium, einem mit der Pumpeinrichtung (12, 14) fluidisch verbundenen Spülanschluss (42) zum Anschluss einer gehäuseexternen Spüleinrichtung (44) zum Ausspülen von in der Pumpeinrichtung (12, 14) vorhandenen Untergrundmedium, wobei der Spülanschluss (42) mit einer Schalteinrichtung (38) verbunden ist, die ein schaltbares Ventil aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Detektionseinrichtung (30) und der Schalteinrichtung (38) eine Steuereinrichtung (34) zum Steuern der Schalteinrichtung (38) in Abhängigkeit des von der Detektionseinrichtung (30) detektierten Untergrundmediums verbunden ist.
申请公布号 DE102005054638(B4) 申请公布日期 2013.09.26
申请号 DE20051054638 申请日期 2005.11.16
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 HOLSTEIN, GUENTER, DIPL.-ING.;STEPPUTAT, KLAUS, DIPL.-ING.
分类号 G01M3/02 主分类号 G01M3/02
代理机构 代理人
主权项
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