影像量测对焦系统及方法

摘要

一种影像量测对焦的方法，该方法包括步骤：发出控制指令给影像量测机台，将图案投影到待测工件上；在设定的距离内控制镜头移动，并截取所述图案投影在待测工件上所产生的影像及每张影像所对应的镜头的Z轴座标；计算每张影像的清晰度；根据所述计算的影像清晰度获得镜头的焦点位置。