移动体装置及曝光装置

摘要

本发明提供一种移动体装置及曝光装置。将因曝光动作中晶圆载台(WST)在基底(30)上进行加速及减速所引起的，在包含基底(30)等的晶圆驱动系统上所作用之扭矩，利用藉由使缓冲器装置(35)的缓冲器(35b)按照规定的加速度沿着线性引导装置(35a)在Z轴方向上进行移动，而与在晶圆驱动系统上所作用之扭矩进行抵消。藉此，可消除在晶圆驱动系统上所作用的扭矩，并在曝光装置(10)中精度良好地进行晶圆(W)进行曝光。