发明名称 半导体装置,电子装置,和半导体装置的制造方法
摘要 具有波节的导电层系以其间具有均匀的距离而以相邻方式形成。排放导电层的微滴以在配线的长度方向上交错微滴的中心,使得排放微滴的中心在相邻导电层之间的线宽方向上不在同一线上。由于交错了微滴中心,所以各自具有最宽线宽(波节的最宽宽度)的导电层部分彼此不连接,且导电层彼此间系以较短距离相邻方式而形成。
申请公布号 TWI412138 申请公布日期 2013.10.11
申请号 TW099106649 申请日期 2006.01.13
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 日本 发明人 伊佐敏行;藤井严;森末将文;川俣郁子
分类号 H01L29/786;H01L21/336;H01L21/228;B41J2/01 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本