晶圆探针卡之同轴探针以及使用该同轴探针之测试头

摘要

本发明系关于一种晶圆探针卡之同轴探针，包含：一钨(W)或钨合金探针本体，具有一第一端部以及一第二端部，其中该第一端部系相对于该探针本体而倾斜并且具有一尖端；一或多层绝缘层，沉积在该探针本体的一区域上，其中该区域不覆盖该第一端部的该尖端以及该第二端部；以及一金属导电层，沉积在至少一部分之该绝缘层上。