电浆辅助式化学气相沉积装置

摘要

一种电浆辅助式化学气相沉积装置包括一制程腔室、一上电极、一下电极以及至少一图案化介质材料装置。上电极与下电极系相对设置于制程腔室之内，用以产生一电浆辅助式化学气相沉积反应，以将一薄膜材料沉积于一设置于该下电极上之基板上。图案化介质材料装置系设置于下电极上，并与基板之至少一边角相邻设置。