| 摘要 |
本发明提供了测试表面之光学检测。在一态样中，藉由根据所判定之该强度变化改变该强度资料用于一栅格之不同区域中时，所使用的一解析度来减少储存获取自诸如一巴路西亚计(Parousiameter)之一散射计(100)之影像强度资料所需之资料数量。在另一态样中，一散射计具有一非球面镜(170、900、1000)以用于将一测试样本(180)成像来校正由该镜面相对于该测试样本之偏离中心之置放所引入之失真。在另一态样中，一光学表面检测装置使用一在一测试表面(1420)与一经照射之图案化栅格(1410)之间之辅助透镜(1440)以将图案化栅格(1610)投影于该测试表面上。一相机(1450)聚焦于作为一实像之该测试表面上之该栅格上。 |
