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发明名称
缺陷检测方法及缺陷检测装置
摘要
在缺陷检测装置中,利用摄影部取得基板之被检查影像,对被检查影像使用边缘抽出过滤进行2进制化,藉以用来抽出边缘。然后,根据从被检查影像除去边缘之边缘除去完成影像之浓度直方图,使被检查影像2进制化,并求得用以产生检查用之处理完成影像之检查用临限值。在浓度直方图,经由除去边缘而用来使与布线图案对应之浓度分布、和与基板本体对应之浓度分布之间之浓度带之图素之频度成为0,用来使2个之浓度分布明确地隔离。因此,经由使与基板本体对应之浓度分布之最大浓度成为检查用临限值,可以以高精确度求得检查用临限值。
申请公布号
TWI412739
申请公布日期
2013.10.21
申请号
TW097142461
申请日期
2008.11.04
申请人
大日本网屏制造股份有限公司 日本
发明人
冈山敏之
分类号
G01N21/956
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址
日本
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