微机电探针及其制造方法

摘要

本发明是关于一种微机电探针构造及其制造方法，主要先将一以陶瓷材料所制成之电路基板加工出一凹槽，再于该电路基板之一表面形成一针体，其中针体之一基座形成于电路基板之表面，并与电路基板之凹槽相距一特定间距，针体之一针臂则由基座朝凹槽的方向延伸而具有一自由端，针体之一针头结构包括针尖及针座则形成于针臂之自由端，藉此，本发明之制造方法在加工凹槽时并不需要复杂的结构计算及严苛的加工精度要求，可有效简化整体制程，使依据本发明之微机电探针能够具有低廉的制造成本而达到本发明之目的。