微机电系统元件以及用于其中之防止变形结构及其制作方法

摘要

本发明提出一种具有防止变形结构之微机电系统(MEMS)元件，设置于基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板之一固定栓；复数金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该复数金属层之复数金属栓；其中，该最上层金属层由上视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。