| 摘要 |
本发明是提供可以不会有作业者的个人差，将晶圆黏贴到被装着在环状的框之黏贴带的特定位置，并且可以防止黏贴带与晶圆之间存在气泡之贴带机。;贴带机系将晶圆黏贴到被装着在环状的框之黏贴带上，具备有：壳体、及具备被装设在壳体内，且在保持晶圆的保持面具备有开口的吸引孔之晶圆保持部之夹具盘、及具备被装设在夹具盘的上侧，且在上面保持环状的框之框保持部，并且具备有将晶圆保持部滑动嵌合在框保持部的内侧之嵌插孔之晶圆定位框体、及具备有面对晶圆定位框体的上面押压之押压构件和被形成在押压构件的外侧，且与框保持部来夹持环状的框之框压制部之押压手段、及使夹具盘对于晶圆定位框体来进退之进退手段、及被连通到壳体内之第1减压手段、及被连通到夹具盘的吸引孔之第2减压手段、及被连通到形成在押压手段之框压制部的内侧之室之第3减压手段。 |
