| 摘要 |
本发明是一种纵型热处理用晶舟，其具备用以载置被处理基板的支撑辅助构件，该支撑辅助构件分别可装卸地装设在晶舟本体的支撑部上，其中，支撑辅助构件，具有：导引构件，其要被装设在支撑部上；以及板状的基板支撑构件，被处理基板则要被载置于其上；导引构件，在其顶面形成孔；基板支撑构件，要被插嵌于导引构件的孔中而被安置；被处理基板的载置面的高度位置，是比导引构件的顶面的高度位置更高；基板支撑构件，是由碳化矽等所构成；导引构件，则是由石英等所构成。;藉此，提供一种纵型热处理用晶舟及使用此晶舟之矽晶圆的热处理方法，当将矽晶圆这类的被处理基板，载置在配备有支撑辅助构件之纵型热处理用晶舟上，并使用氩气等来进行热处理时，能够一并抑制铁污染被转印至矽晶圆上、以及矽晶圆背面的粗糙化此两种情况。 |
