划线装置及划线方法

摘要

本发明系关于一种划线装置及划线方法，其可作业性良好地将尺寸小之脆性材料基板划线。;在工作台106上将复数之脆性材料基板107a~107i以各定位销109定位配置。预先于各脆性材料基板保持制程参数资料表。基于该制程参数资料表，使脆性材料基板与划线头相对地移动，对各基板进行内切割划线或外切割划线。如此，能够以自动运转一次性进行复数片之划线作业。