具有内坎式晶片承载座之机械手臂叶板

摘要

本创作系指一种具有内坎式晶片之机械手臂叶板，其主要改良特征在于：该叶板至少设有一个以上之内扣环定位孔，以及供压迫崁入固定之数相对应橡胶承载座；其中，橡胶承载座上端设计有向上开口之吸附盘与一透气孔，藉由该吸附盘外环略斜凸伸于叶板面之高低落差，得当晶圆片座落时迫使吸附盘外环受力外翻效能，进而促使吸附盘之开口环面完全贴合晶圆片而倍增两者间摩擦力，以确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性，进而提升产品良率之产业利用性者。