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经营范围
发明名称
用于半导体基板的导体柱结构以及制造方法
摘要
申请公布号
TWI421994
申请公布日期
2014.01.01
申请号
TW100103911
申请日期
2011.02.01
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
发明人
陈志华;陈承先;郭正铮
分类号
H01L23/488;H01L21/60
主分类号
H01L23/488
代理机构
代理人
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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