发明名称 用于半导体基板的导体柱结构以及制造方法
摘要
申请公布号 TWI421994 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW100103911 申请日期 2011.02.01
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 陈志华;陈承先;郭正铮
分类号 H01L23/488;H01L21/60 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号