发明名称 氮化镓电晶体的制作方法
摘要
申请公布号 TWI421947 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW099139011 申请日期 2010.11.12
申请人 国立交通大学 新竹市大学路1001号 发明人 张翼;张嘉华;林岳钦
分类号 H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 新竹市大学路1001号