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发明名称
摘要
申请公布号
JP5402778(B2)
申请公布日期
2014.01.29
申请号
JP20100078255
申请日期
2010.03.30
申请人
发明人
分类号
H01L23/36;H01L23/473;H01L25/07;H01L25/18
主分类号
H01L23/36
代理机构
代理人
主权项
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