System und Verfahren für Hochauflösungs-/Hochdurchsatz-Bearbeitung von Leiterbildern flexibler Substrate

摘要

Für eine ordnungsgemäße Ausrichtung wird jede Schicht eines Mehrfachschichtsubstrats mit Ausrichtungsmarkern versehen. Optische Ausrichtungsmarker werden auf die Oberfläche jeder Substratschicht aufgebracht. Gruppen von Ausrichtungsmarkern werden in lokalisierten Bereichen auf jeder Substratschicht angeordnet. Jede lokalisierte Gruppe von Ausrichtungsmarkern wird als Ausrichtungszielbereich bezeichnet. Die Ausrichtungsmarker in einem ersten Ausrichtungszielbereich auf der ersten Substratschicht sind mit entsprechenden Ausrichtungsmarkern in einem zweiten Ausrichtungszielbereich auf der zweiten Substratschicht auszurichten. Bei einigen Ausführungsformen schließt der erste Ausrichtungszielbereich einen Ausrichtungsmarker ein, der für eine manuelle Ausrichtung ausgestaltet ist, und einen weiteren Ausrichtungsmarker, der für eine maschinelle Ausrichtung ausgestaltet ist. Der zweite Ausrichtungszielbereich weist einen entsprechenden manuellen Ausrichtungsmarker und maschinellen Ausrichtungsmarker auf.