正型感光性组成物、使用该组成物之图案形成方法及用于该组成物之树脂

摘要

提供一种不仅在通常曝光(乾式曝光)而且在浸液式曝光，曝光宽容度(exposure latitude)广阔且能够抑制线边缘粗糙度之正型感光性组成物、使用该正型感光性组成物之图案形成方法及该正型感光性组成物所含有的新颖树脂，其中该正型感光性组成物系含有(A)在侧链具有特定内酯结构且藉由酸的作用而对硷性显像液的溶解度增大之树脂及(B)藉由照射活性光线或放射线来产生酸之化合物之正型感光性组成物、使用该正型感光性组成物之图案形成方法及该正型感光性组成物所含有的新颖树脂。