用于纯化含有以氟为基溶剂之溶液的方法及装置以及清洗装置

摘要

本发明提供一种纯化方法，其中可在不使用蒸馏装置的情况下藉由相对较小设备来获得高纯度之以氟为基溶剂。;一种含有以氟为基溶剂之混合溶液之纯化方法，其为用于自含有以氟为基溶剂、水溶性有机溶剂污染物、有机污染物及离子污染物之混合溶液纯化以氟为基溶剂的方法，该方法包含：步骤(1)：以水洗涤该混合溶液以便获得该水溶性有机溶剂浓度降低至0.01 wt%或以下之第一经处理溶液，步骤(2)：以活性碳处理该第一经处理溶液以便获得该有机污染物浓度降低至20 ppb或以下之第二经处理溶液，步骤(3)：以活性氧化铝处理该第二经处理溶液以便获得该氟离子污染物降低至10 ppb或以下之第三经处理溶液，及步骤(4)：以颗粒移除过滤器处理该第三经处理溶液以便获得0.1 μm或以上之颗粒数目为10个颗粒/毫升或以下之以氟为基溶剂。