用于选择性收集制程流出流的方法及设备

摘要

本发明关于一种从化学制程反应器的流出流回收想要的气体例如二氟化氙、氙、氩、氦或氖的设备及方法，该设备及方法单独或以气体混合物的方式或以被分解分子的方式利用此等气体，其中该化学制程反应器使用不全含有该想要的气体的一系列不同气体组合物，并且只有在该想要的气体处于该流出流中的期间才捕捉并实质回收该想要的气体。